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酒儿久 发表于 2021-2-28 11:40

离子注入机是什么


离子注入机是把中性原子电离后，引出离子束，用电磁场聚焦，形成一定能量和脉冲宽度的带电粒子束，注入到靶室的材料上，使材料的化学成分或组织结构发生变化，引起电学、磁学、光学、机械性能和化学性能的改变。

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